2024-10-08
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1. 硅片制造 高質量硅片的生產從單晶硅錠開始,經過多道工藝步驟,包括切片、表面處理和精加工。其中,線鋸切割是將大尺寸的圓柱形硅錠切割成薄片(即硅片)的關鍵步驟。 線鋸切割是確保硅片具有所需厚度和平整度的關鍵步驟,同時還能盡量減少材料損耗和缺陷。這一過程需要在切割速度、精度和表面質量之間找到平衡。 2. 硅錠準備概述 在上一篇文章中,我們介紹了硅錠通常通過直拉法(CZ法)或區熔法(FZ法)生長。無論采用哪種方法,最終都會得到一個直徑從100毫米到300毫米不等的圓柱形單晶硅錠。在半
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